PGI轮廓仪技术信息

技术亮点

PGI轮廓仪采用先进的非接触式白光干涉（White Light Interferometry, WLI）技术，结合高精度的Z轴扫描系统，能够实现亚纳米级的垂直分辨率。其核心优势在于：

高分辨率与高动态范围：PGI可在微米至毫米级的测量范围内，实现表面粗糙度、轮廓、平面度、波纹度等参数的精确分析，适用于从超光滑表面到复杂几何结构的广泛样品。

快速三维成像：通过高速扫描与图像拼接技术，PGI可在短时间内完成大面积三维表面形貌的重建，显著提升测量效率。

多功能集成：支持多种测量模式，包括点测、线扫、区域扫描等，配合强大的分析软件，可满足ISO、ASME等国际标准的评定需求。

应用领域

PGI轮廓仪广泛应用于：

半导体制造：用于晶圆表面缺陷检测、薄膜厚度测量及光刻胶轮廓分析。

光学元件检测：对透镜、反射镜等光学表面的面形误差进行高精度评估。

生物医学材料：研究植入物表面微结构对细胞附着的影响。

科研与教育：为材料科学、纳米技术等领域提供可靠的实验数据支持。